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• 유기 금속 화학 증착법, 有機金屬化學蒸着法, Metal Organic Chemical Vapor Deposition, MOCVD

  화학 반응을 이용하여 기판상에 금속 산화막을 형성하는 박막 형성법. 진공으로 된 통 안에서 가열된 기판에 증기압이 높은 금속의 유기 화합물 증기를 보내어 그 금속의 막을 기판에 성장시킨다. 어떤 조건에서는 화합물 반도체의 결정을 에피택셜 성장(epitaxial growth)시킬 수도 있다.